@article{PismaZhETF.73.536, title = {Сегрегация бора, имплантированного в кремний, на угловых конфигурациях границы окисления кремний/двуокись кремния}, author = {Тарнавский, Г. А. and Шпак, С. И. and Обрехт, М. С.}, journal = {Письма в ЖЭТФ}, volume = {73}, issue = {9}, pages = {536}, year = {2001}, doi = {}, url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_15704.shtml}, }