@article{PismaZhETF.73.536,
    title = {Сегрегация бора, имплантированного в кремний, на угловых конфигурациях границы окисления кремний/двуокись кремния},
    author = {Тарнавский, Г. А. and Шпак, С. И. and Обрехт, М. С.},
    journal = {Письма в ЖЭТФ},
    volume = {73},
    issue = {9},
    pages = {536},
    year = {2001},
    doi = {},
    url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_15704.shtml},
}