@article{PismaZhETF.89.80,
    title = {Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния},
    author = {Сенников, П. Г. and Голубев, С. В. and Шашкин, В. И. and Пряхин, Д. А. and Дроздов, М. Н. and Андреев, Б. А. and Дроздов, Ю. Н. and Кузнецов, А. С. and Поль, Х. -Й.},
    journal = {Письма в ЖЭТФ},
    volume = {89},
    issue = {2},
    pages = {80},
    year = {2009},
    doi = {},
    url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_28398.shtml},
}