@article{PismaZhETF.99.614,
    title = {Изготовление субмикронных структур методом трехмерной лазерной  литографии},
    author = {Шишкин, И. И. and Рыбин, М. В. and Самусев, К. Б. and Лимонов, М. Ф. and Киян, Р. В. and Чичков, Б. Н. and Кившарь, Ю. С. and Белов, П. А.},
    journal = {Письма в ЖЭТФ},
    volume = {99},
    issue = {9},
    pages = {614},
    year = {2014},
    doi = {10.7868/S0370274X14090094},
    url = {http://jetpletters.ru/ps/dx/10.7868/S0370274X14090094},
}