@article{PismaZhETF.74.234, title = {Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком}, author = {Углов, В. В. and Анищик, В. М. and Асташинский, В. В. and Асташинский, В. М. and Ананин, С. И. and Ас-кер-ко, В. В. and Костюкевич, Е. А. and Кузьмицкий, А. М. and Квасов, Н. Т. and Данилюк, А. Л.}, journal = {Письма в ЖЭТФ}, volume = {74}, issue = {4}, pages = {234}, year = {2001}, doi = {}, url = {http://jetpletters.ru/ps/0/article_9589.shtml}, }