|
VOLUME 67 (1998) | ISSUE 10 |
PAGE 794
|
Дискретное туннелирование дырок в пористом кремнии
Демидов Е.С., Карзанов В.В., Шенгуров В.Г.
PACS: 72.80.Ng
Обращается внимание на то, что частичное окисление пористого кремния (ПК), сформированного на сильнолегированных кристаллах, в силу топологии пор может приводить к образованию анизотропного материала с гирляндами из гранул кремния диаметром в единицы нанометров, вкрапленных в диэлектрическую двуокись кремния SiC>2При таких размерах гранул существенны корреляционные эффекты в туннелировании электронов (дырок) из-за их кулоновского взаимодействия, что должно проявляться в их дискретном туннелировании при температурах, сравнимых с комнатной. Приводятся измеренные при комнатной температуре вольт-амперные характеристики диодных структур п+-ПКр+ — р+ с прослойкой ПК на p+-Si со ступеньками тока на прямой и обратной ветвях, которые мы связываем с дискретным туннелированием дырок вдоль кремниевых гирлянд в S1O2
|
|