Home
| VOLUME 82 (2005) | ISSUE 5 | PAGE 326 |
|---|
|
Наблюдение антифазных доменов в пленках CdxHg1-xTe на кремнии методом фазового контраста в атомно-силовой микроскопии
И. В. Сабинина*, А. К. Гутаковский*, Ю. Г. Сидоров*, М. В. Якушев*, В. С. Варавин*, А. В. Латышев*+
*Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия + Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия PACS: 68.37.-d, 68.47.Fg, 68.55.-a
Abstract
Продемонстрирована возможность использования фазового контраста в атомно-силовой микроскопии для получения адекватной информации о плотности и характере распределения антифазных доменов на поверхности пленок CdHgTe, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на поверхности Si(301). Сопоставление фазовых изображений поверхности пленок в атомно-силовом микроскопе с изображениями структурных дефектов в приповерхностной области в просвечивающем электронном микроскопе позволило установить связь между микроструктурой и микроморфологией пленок. |