Фазовый состав пленок системы Ti-С, полученных при технологических условиях алмазообразования и содержании углерода свыше 50 ат.%
В. И. Перекрестов, А. В. Павлов
Сумский государственный университет
40007 Сумы, Украина
PACS: 68.55.-a, 81.15.Ef
Abstract
Методом дифракции электронов изучен фазовый состав пленок
системы Ti-C (концентрация C изменялась от 50 до 100 ат.%),
полученных методом ионного распыления C и Ti с последующим
осаждением паров, которые обладали предельно низким
пересыщением. При конденсации паров в соответствующих
пропорциях установлено образование соединения TiC2,
имеющее ОЦК решетку с периодом 0.294 нм. Увеличение
содержания C свыше 64 ат.% сопровождается переходом к
алмазной фазе.