Фемтосекундное наноструктурирование кремниевых поверхностей
С. В. Заботнов, Л. А. Головань, И. А. Остапенко, Ю. В. Рябчиков, А. В. Червяков, В. Ю. Тимошенко, П. К. Кашкаров, В. В. Яковлев+
МГУ им. М. В. Ломоносова, физический факультет, 119992 Москва, Россия
+University of Wisconsin-Milwaukee, Physics Department, 53211 Milwaukee, WI, USA
PACS: 78.67.-n, 81.07.Bc
Abstract
При облучении поверхностей монокристаллического кремния
фемтосекундными лазерными импульсами были сформированы наноструктуры,
зарегистрированные методами растровой электронной микроскопии, спектроскопии
комбинационного рассеяния и фотолюминесценции.