Влияние перестройки кремниевой поверхности на диффузию по ней калия и натрия
Борзяк П.Г., Дадыкин А.А.
Методом автоэлектронной микроскопии изучена диффузия калия и натрия на очищенной полевым испарением и перестроенной, в результате высокотемпературного (Т 9" 700К) нагрева, поверхности кремния. После перестройки поверхности коэффициент диффузии возрастал более, чем на три порядка.
Home
![](/ps/109/article_1875_800_head.png "Методом автоэлектронной микроскопии изучена диффузия калия и натрия на очищенной полевым испарением и перестроенной, в результате высокотемпературного <i>(Т </i>9" <b>700</b>К) нагрева, поверхности кремния. После перестройки поверхности коэффициент диффузии возрастал более, чем на три порядка.")