Осцилляции оптических характеристик поверхности роста пленок Ge при эпитаксии из молекулярного пучка
Соколов Л.В., Ламин М.А., Марков В.А., Машанов В.И., Пчеляков О.П., Стенин С.И.
Методом отражательной автоматической эллипсометрии обнаружен новый эффект -осцилляции оптических характеристик поверхностного слоя в процессе эпитаксии германия из молекулярного пучка. Период осцилляций совпадает с временем образования слоя двухатомной толщины.