Home
For authors
Submission status

Current
Archive (English)
Archive
   Volumes 61-80
   Volumes 41-60
   Volumes 21-40
   Volumes 1-20
   Volumes 81-92
      Volume 92
      Volume 91
      Volume 90
      Volume 89
      Volume 88
      Volume 87
      Volume 86
      Volume 85
      Volume 84
      Volume 83
      Volume 82
      Volume 81
Search
VOLUME 86 (2007) | ISSUE 9 | PAGE 657
Влияние размера наночастиц на свойства емкостного высокочастотного разряда
PACS: 52.27.Lw
Abstract
Свойства емкостного ВЧ разряда с растущими наночастицами исследуются с использованием кинетического моделирования методом PIC-MCC. Показано, что на начальной стадии роста наночастицы располагаются на границе приэлектродного слоя и квазинейтральной плазмы, где скорость ионизации электронным ударом имеет максимальное значение. В начале формирования частиц параметры плазмы резко меняются, и при некотором критическом размере частиц наблюдается переход между емкостной и объемной модами горения разряда. При дальнейшем росте пылевых частиц их распределение по разряду становится более однородным, и установившиеся параметры газоразрядной плазмы практически не меняются.