Обратимые сверхструктурные переходы на поверхности GaAs(001) при селективном воздействии йода и цезия
О. Е. Терещенко, К. В. Торопецкий, В. Л. Альперович
Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
PACS: 61.14.-x, 68.35.Bs, 68.43.-h, 72.80.Ey, 81.15.Ef
Abstract
Экспериментально изучено селективное взаимодействие
атомов йода и цезия с поверхностью GaAs(001), которое приводит к
уменьшению энергии связи поверхностных атомов галлия и мышьяка,
соответственно, благодаря перераспределению электронной плотности
в приповерхностной области под влиянием электроотрицательных и
электроположительных адсорбатов. Такое селективное взаимодействие
позволяет поочередно удалять монослои галлия и мышьяка при
адсорбции йода и цезия и последующем прогреве при температуре
C и, тем самым, осуществлять обратимые
низкотемпературные переходы между Ga- и As-стабилизированными
сверхструктурами, а также атомно-слоевое травление полупроводника
с физически предельной, монослойной точностью.