Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда
A. В. Водопьянов, C. В. Голубев, Д. А. Мансфельд, А. Г. Николаев+, К. П. Савкин+, Н. Н. Салащенко*, Н. И. Чхало*, Г. Ю. Юшков+
Институт прикладной физики РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
+Институт сильноточной электроники Сибирского отд. РАН, 634055 Томск, Россия
*Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 52.50.Dg, 52.50.Sw
Abstract
Обсуждается источник жесткого (экстремального) ультрафиолетового
излучения на основе разряда низкого давления, поддерживаемого
в магнитной ловушке мощным электромагнитным излучением
миллиметрового диапазона длин волн в условиях
электронно-циклотронного резонанса. В таком разряде эффективно
образуются и возбуждаются многозарядные ионы (использовались
ионы олова, инжектируемые в ловушку из вакуумно-дугового разряда),
линейчатое излучение которых лежит в требуемом диапазоне длин вон.
В предварительных экспериментах мощность излучения с длиной
волны 13,5 нм в полосе 1%
достигала 50 Вт с к.п.д. преобразования
поглощенного в плазме СВЧ излучения в жесткий ультрафиолет
на уровне 1%.