Формирование гетерограницы GaAs-Ge в присутствии окисла
С. П. Супрун, Е. В. Федосенко
Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PACS: 73.20.-r, 73.40.Lq, 81.15.Hi
Abstract
Приведены результаты исследования методами рентгеновской
фотоэлектронной
спектроскопии и дифракции быстрых электронов на отражение процесса
формирования гетерограницы GaAsч Ge при условии неполного удаления всех
окисных фаз с поверхности подложки GaAs. Показано, что совмещение процессов
окончательной десорбции окисла Ga2O и осаждения Ge позволяет предотвратить
испарение мышьяка и нарушение стехиометрии в области границы раздела.