Home
| VOLUME 89 (2009) | ISSUE 10 | PAGE 577 |
|---|
|
Ионография наноструктур с помощью лазерной плазмы кластерных мишеней
A. Я. Фаенов+*!, T. A. Пикуз+*, И. Фукуда+, M. Кандо+, Х. Котаки+, T. Хомма+, K. Кавасе+, T. Камешима+, A. Пирожков+, A. Иого+, M. Тампо+, M. Мори+, Х. Сакаки+, И. Хаяши+, T. Накамура+, С. A. Пикуз мл.*, В. Карташев*, И.Ю. Скобелев*, A. Джульетти∇, Ч. A. Чечетти∇, A. С. Болдарев
 , В. A. Гасилов, A. И. Магунов , С. Кар°, M. Боргези°, П. Болтон+, Х. Даидо+, T. Тажима+, И. Като , С. В. Буланов +Kansai Photon Science Institute JAEA, Kizugawa-city, Kyoto 619-0215, Japan *Объединенный институт высоких температур РАН, 125412 Москва, Россия ∇ILIL-Istituto per i Processi Chimico-Fisici CNR, 56124 Pisa, Italy Институт математического моделирования РАН, Москва, РоссияИнститут общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия°The Queen's University of Belfast, Belfast BT7 INN, United Kingdom The Graduate School for the Creation of New Photonics Industries, Hamamatsu, Japan
PACS: 07.77.Ka, 32.30.Rj, 52.38.Kd
Abstract
Показано, что фемтосекундная лазерная плазма кластерных мишеней является практически изотропным источником быстрых ионов, что делает возможным его использование для построения ионографических изображений с большим полем зрения. Получено пространственное разрешение ионографических изображений не хуже 600 нм, что соответствует уникально высокому значению отношения (поле зрения)/(разрешающая способность)  .
Использование потоков ионов с энергией 100-300 кэВ обеспечивает
чувствительность метода к толщине образца не хуже 100 нм даже в случае
образцов, состоящих из легких химических элементов (С, Н). Предлагаемый метод
может быть использован для построения изображений малоконтрастных
биологических объектов, тонких пленок, мембран и других наноструктурированных
объектов.
|