Многофононный механизм ионизации ловушек в Al2O3: эксперимент и численное моделирование
Ю. Н. Новиков, В. А. Гриценко, К. А. Насыров*
Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
*Институт автоматики и электрометрии Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PACS: 77.22.Jp, 77.55.+f, 77.84.Bw
Abstract
Экспериментально и теоретически исследован перенос заряда в
Al2O3. Результаты эксперимента находятся в количественном согласии с
теорией многофононной ионизации глубоких центров. Определены термическая
(WT=1.5 эВ) и оптическая (W opt=3.0 эВ) энергии глубоких
центров. Обнаружено, что экспериментальные данные неудовлетворительно
описываются механизмом Пула-Френкеля, который дает нефизично малое значение
частотного фактора и аномально высокое значение эффективной туннельной
массы.