Фазовые соотношения и форма кривых рентгеновской дифракции от гетероструктур с квантовыми ямами
М. А. Чуев, Э. М. Пашаев*, М. В. Ковальчук*, В. В. Квардаков*
Физико-технологический институт РАН, Москва, Россия
*Российский научный центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
PACS: 61.05.cc, 61.05.cp, 78.67.De, 79.60.Jv
Abstract
Проведен качественный анализ формирования интерференционной
картины на кривых дифракционного отражения рентгеновских лучей от
гетероструктур с квантовыми ямами. Показано, что помимо хорошо известного
эффекта, связанного с дополнительным сдвигом фазы в амплитудах дифракционного
рассеяния покрывающего слоя и подложки за счет небольшого смещения атомных
слоев в квантовой яме, форма кривой отражения существенным образом зависит от
толщины квантовой ямы, отражая специфические фазовые соотношения в
интегральной амплитуде отражения. В рамках анализа были получены простые
аналитические выражения, которые позволяют не только описать тонкие детали
интерференционной картины на кривой отражения, но и приближенно оценить
значения наиболее значимых параметров реально выращенной гетероструктуры,
которые определяют наиболее адекватную стартовую модель для дальнейшего
анализа на основе общих формул динамической дифракции.