|
VOLUME 91 (2010) | ISSUE 9 |
PAGE 511
|
Реконструкционная зависимость травления и пассивации поверхности GaAs(001)
О. Е. Терещенко*+/, С. В. Еремеев, А. В. БакулинΔ, С. Е. Кулькова
*Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия +Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отд. РАН, 634021 Томск, Россия ΔТомский государственный университет, 634050 Томск, Россия
Abstract
Изучена микроскопическая природа селективного
взаимодействия йода с As- и Ga-стабилизированными поверхностями
GaAs(001) методом фотоэлектронной эмиссии и расчетами из первых
принципов. Адсорбция йода на Ga-стабилизированную поверхность
приводит к образованию преимущественной
химической связи с атомами галлия, значительному перераспределению
электронной плотности между поверхностными атомами Ga и As и, как
следствие, уменьшению их энергии связи. На As-стабилизированной
поверхности йод образует связь
преимущественно с поверхностным мышьяком. Такое селективное
взаимодействие йода с реконструированными поверхностями приводит к
травлению Ga-стабилизированной поверхности и пассивации
As-стабилизированной поверхности, что объясняет атомно-слоевое
(«цифровое») травление GaAs(001), контролируемое
реконструкционными переходами на этой поверхности.
|
|