Формирование кластеров Ge на поверхности Si(111)-Bi-
К. Н. Романюк+*, А. А. Шкляев+*, Б. З. Ольшанецкий++*
+Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
*Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Методом сканирующей туннельной микроскопии продемонстрирована возможность
формирования плотного массива однородных по размеру кластеров Ge на поверхности
Si(111) в присутствии сурфактанта Bi. Показано, что осаждение германия при комнатной
температуре приводит к образованию кластеров двух типов. Кластеры из 2-4 атомов имеют
высоту в один монослой и подвижны на слое висмута.
Второй тип, бислойные кластеры
из 8-10 атомов, после отжига при 400-500 °С переходят в
эпитаксиальные островки. Рассмотрены модели вероятных атомных структур
бислойных кластеров с учетом их расположения относительно тримеров Bi.
Обнаружено, что вероятность замещения атомов Ge атомами Si при образовании
кластеров не превышает 20