Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
   Volumes 113-120
   Volumes 93-112
      Volume 112
      Volume 111
      Volume 110
      Volume 109
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 94 (2011) | ISSUE 2 | PAGE 116
Ионная имплантация в металлы с одновременным электронным облучением
Abstract
Обнаружено изменение распределений атомов азота и углерода, имплантированных с энергиями 10 и 30 кэВ, по глубине образцов из никеля и нержавеющей стали в результате сопутствующего облучения электронами с энергией 1 кэВ. Вместо одного максимума распределения появляются два максимума, один ближе к поверхности, а второй на большей глубине, чем при имплантации без электронного облучения. Влияние электронного облучения объясняется образованием в системе атомов примеси зоны, находящейся выше уровня Ферми, в которую электроны металла переходят в результате возбуждения бомбардирующими электронами. Электроны в этой зоне имеют достаточно большое время жизни и увеличивают подвижность атомов примесей.