|
VOLUME 94 (2011) | ISSUE 2 |
PAGE 151
|
Дрейф адатомов на поверхности кремния (111) в условиях электромиграции
Е. Е. Родякина , С. С. Косолобов , А. В. Латышев
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Сибирское отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Методами in situ сверхвысоковакуумной отражательной
электронной микроскопии и ex situ атомно-силовой микроскопии показано
существование дрейфа адатомов по поверхности, возникающего под действием
электрического тока, нагревающего образец, в условиях сублимации,
гомоэпитаксиального роста и квазиравновесия на поверхности кремния (111) при
температурах выше 1050 °С. Установлено, что направление дрейфа
адатомов не зависит от величины пересыщения на поверхности. При этом дрейф
адатомов происходит в сторону нижележащих террас: при
1050°-1240 °С в условиях резистивного нагрева образца постоянным
электрическим током - в направлении вверх по ступеням, а при
1250-1350 °С - в направлении вниз по ступеням. Наличие дрейфа
адатомов свидетельствует о существовании у адатомов эффективного заряда,
оценка величины которого при 1280 °С составила от
величины заряда электрона.
|
|