Самопроизвольная модуляция состава при молекулярно-лучевой эпитаксии CdxHg1-xTe(301)
И. В. Сабинина, А. К. Гутаковский, Ю. Г. Сидоров, А. В. Латышев
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Обнаружен эффект самопроизвольной модуляции состава
твердого раствора в пленках CdxHg1-xTe в процессе
молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках CdTe/ZnTe/GaAs(301).
Исследование микроморфологии поверхности пленок в атомно-силовом
микроскопе и микроструктуры пленок в просвечивающем электронном
микроскопе позволило установить, что в процессе эпитаксиального
роста при температуре выше оптимальной на поверхности пленок
CdxHg1-xTe(301) формируется периодическая система
ориентированных в направлении [010] макроступеней, разделенных
террасами (100). Рост пленки однородного состава оказывается
возможным только на фронте макроступеней и невозможным на террасах
(100), на которых происходит рост слоистой структуры с модуляцией
состава в направлении [100] с периодом в несколько десятков
ангстрем. Наблюдающееся явление объясняется пониженной адсорбцией
атомов ртути на плоскости (100).