Особенности атомных процессов при формировании смачивающего слоя и зарождении трехмерных островков Ge на ориентациях (111) и (100) Si
C. А. Тийс
Институт физики полупроводников им. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
С помощью метода СТМ исследовались промежуточные стадии формирования
смачивающего слоя Ge на поверхностях (111) и (001) Si в квазиравновесных
условиях роста. Продемонстрированы процессы перераспределения атомов Ge
и релаксации напряжений несоответствия посредством формирования поверхностных
структур пониженной плотности и граней, отличных от ориентации подложки.
Проведен анализ мест зарождения новых трехмерных островков Ge после
образования смачивающего слоя. Показаны как принципиальные отличия, так и
общие тенденции протекания атомных процессов при формировании смачивающих
слоев на поверхностях (111) и (100) Si. Плотность трехмерных зародышей
на Si(111) определяется изменившимися условиями поверхностной диффузии
адатомов Ge после смены поверхностной структуры. На грани Si(100) переход
к трехмерному росту определяется зарождением одиночных граней
на шероховатой поверхности Ge(100).