Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
   Volumes 113-120
   Volumes 93-112
      Volume 112
      Volume 111
      Volume 110
      Volume 109
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 97 (2013) | ISSUE 8 | PAGE 536
Особенности структуры и дефектных состояний в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния
Abstract
Методами просвечивающей электронной микроскопии, спектроскопии электронного парамагнитного резонанса и рамановской спектроскопии исследованы структурные и электронные свойства тонких пленок гидрогенизированного полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения смеси газов водорода (H2) и моносилана (SiH4). Определено, что исследованные пленки состоят из аморфной фазы, содержащей кремниевые нанокристаллические включения со средним размером порядка 4-5 нм и объемной долей 10 в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния обнаружен сигнал, приписываемый электронам, захваченным в хвост зоны проводимости микрокристаллического кремния. Показано, что введение в пленки аморфного кремния небольшой доли нанокристаллов неаддитивным образом изменяет электронные свойства материала.