Home
| VOLUME 97 (2013) | ISSUE 8 | PAGE 536 |
|---|
|
Особенности структуры и дефектных состояний в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния
А. В. Емельянов+, Е. А. Константинова+, П. А. Форш+*, А. Г. Казанский+, М. В. Хенкин+, Н. Н. Петрова+, Е. И. Теруков×, Д. А. Кириленко×, Н. А. Берт×, С. Г. Конников×, П. К. Кашкаров+*
+Физический факультет МГУ им. Ломоносова, 119991 Москва, Россия *Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия ×Физико-технический институт им. Иоффе РАН, 194021 С.-Петербург, Россия
Abstract
Методами просвечивающей электронной микроскопии, спектроскопии электронного парамагнитного резонанса и рамановской спектроскопии исследованы структурные и электронные свойства тонких пленок гидрогенизированного полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения смеси газов водорода (H2) и моносилана (SiH4). Определено, что исследованные пленки состоят из аморфной фазы, содержащей кремниевые нанокристаллические включения со средним размером порядка 4-5 нм и объемной долей 10 в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния обнаружен сигнал, приписываемый электронам, захваченным в хвост зоны проводимости микрокристаллического кремния. Показано, что введение в пленки аморфного кремния небольшой доли нанокристаллов неаддитивным образом изменяет электронные свойства материала. |