Выделение алмазоподобной пленки на поверхность никеля при ионной имплантации углерода с одновременным облучением электронами
Ю. В. Мартыненко, С. Н. Коршунов, Н. Е. Белова, И. Д. Скорлупкин
Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт",
123182 Москва, Россия
Abstract
Исследовалось одновременное облучение никеля ионами C+
с энергиями 10-30 кэВ и
электронами с энергиями 1-5 кэВ при температурах мишеней
300-1000 °С. Обнаружен
эффект выделения внедренных атомов углерода на поверхности образца и образования
прозрачной углеродной пленки с преимущественной sp3-гибридизацией.
Пленка достигает
толщины в несколько десятков нм. Образование пленок объясняется ускорением
формирования углеродных структур при облучении ускоренными электронами.