Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
   Volumes 113-121
   Volumes 93-112
      Volume 112
      Volume 111
      Volume 110
      Volume 109
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 100 (2014) | ISSUE 1 | PAGE 59
Структурные и электрические свойства сверхлегированного поверхностного слоя кремния с глубокими донорными состояниями серы
DOI: 10.7868/S0370274X14130104
Abstract
Неоднородное сверхлегирование поверхностного слоя пластины кремния атомами серы с концентрацией атомов легирующей примеси на уровне более 2•1021 см-3 на глубине порядка 100 нм достигнуто путем его фемтосекундной лазерной обработки в серосодержащей жидкости. Инфракрасная (ИК) спектроскопия сверхлегированного слоя демонстрирует отчетливые полосы межзонного поглощения донорных центров серы, отсутствующие в исходном материале, и широкую полосу поглощения свободных носителей с концентрацией {\sim} 10^{18} см-3. Относительно низкая плотность носителей связывается с равновесной термической ионизацией локализованных состояний легирующей примеси в сверхлегированном слое, сохраняющем невырожденный характер вследствие необычно сильной электрон-ионной связи в глубоких донорных состояниях.