Home
| VOLUME 101 (2015) | ISSUE 9 | PAGE 713 |
|---|
|
Энергетические спектры ионов и энергетическая зависимость степени ионизации атомов, эмитированных из металлов в нелинейном режиме распыления
С. Ф. Белых, А. Б. Толстогузов+*, А. А. Лозован
МАТИ - Российский государственный технологический университет им. Циолковского, 121552 Москва, Россия +Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fisica da Faculdade de Ciencias e Tecnologia, Universidade Nova de Lisboa, Campus de Caparica, 2829-516 Caparica, Portugal *Рязанский государственный радиотехнический университет, 390005 Рязань, Россия
Abstract
Получены аналитические формулы для расчета энергетического спектра F+(E) атомных ионов и энергетической зависимости степени ионизации α+(E) атомов, распыленных из металлов в режиме нелинейных каскадов столкновений. Сравнение зависимостей α+(E) для линейного и нелинейного режимов распыления демонстрирует существенное различие механизмов, ответственных за формирование зарядового состава атомных ионов. |