Возможности двухфотонной конфокальной микроскопии для томографии времени жизни неравновесных носителей тока в полупроводниковых материалах
В. П. Калинушкин, О. В. Уваров
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, 119991 Москва, Россия
Abstract
На примере кристаллов ZnSe рассмотрены перспективы использования
двухфотонной конфокальной микроскопии для создания "плоских карт"
времен жизни неравновесных носителей тока в полупроводниковых материалах
и для исследования других прямозонных
полупроводников и структур на их основе. Показана возможность
формирования таких карт с шагом по глубине и пространственным разрешением по
плоскости в несколько мкм до расстояний от поверхности до 1 мм.
Сообщается о наблюдении с помощью этой методики неоднородностей в кристаллах
и исследовании их структуры и люминесцентных характеристик.