Электронная структура аморфного SiOx переменного состава
А. А. Карпушин+, В. А. Гриценко+*×
+Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия
*Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
×Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия
Abstract
В приближении сильной связи, без использования подгоночных параметров
рассчитаны величины барьеров для инжекции электронов и дырок из кремния в
SiOx. Найдена зависимость электронной структуры обогащенного кремнием
аморфного оксида кремния SiOx от степени обогащения.
В расчетах использован способ параметризации матричных элементов Гамильтониана
сильной связи, предложенный ранее авторами, учитывающий изменение области
локализации валентных электронов изолированного атома при его встраивании в
твердое тело. Показано, что учет этого изменения позволяет рассчитывать
электронную структуру без подгоночных параметров, используя в качестве исходных
данных параметры изолированных атомов. Последнее обстоятельство дает возможность
вести расчет в абсолютной шкале энергий с нулем, соответствующим энергии
электрона в вакууме.