Home
| VOLUME 108 (2018) | ISSUE 6 | PAGE 393 |
|---|
|
Одноимпульсная абляция кремния ультракороткими лазерными импульсами варьируемой длительности в воздухе и воде
Н. А. Смирнов+, С. И. Кудряшов+*, П. А. Данилов+, А. А. Руденко+, А. А. Ионин+, А. А. Настулявичус+
+Физический институт им. П.Н. Лебедева, 119991 Москва, Россия *Национальный ядерный исследовательский университет МИФИ, 115409 Москва, Россия
Abstract
Проведено сравнение одноимпульсной абляции кремния лазерными импульсами варьируемой длительности (0.3-9.5 пс) с длиной волны 515 нм на воздухе и в воде. Показана немонотонная зависимость изменения порогов абляции с минимумом для 1.6 пс, связанная с достижением времени термализации электронной и ионной подсистем в кремнии. Показано, что с увеличением длительности импульса эффективность абляции кремния в воздухе в диапазоне выбранных длительностей падает в 2.5 раза и, напротив, растет в 2 раза при абляции в воде, что объясняется при абляции на воздухе частичным переходом от фазового взрыва к поверхностному испарению, заблокированным в воде. |