Home
| VOLUME 108 (2018) | ISSUE 7 | PAGE 522 |
|---|
|
Механический резонанс в кремниевом нанопроводе с высокой добротностью
Д. Е. Преснов+*, С. Г. Кафанов×, А. А. Дорофеев+, И. В. Божьев+, А. С. Трифонов+*, Ю. А. Пашкин×°, В. А. Крупенин+ 1)
+Центр квантовых технологий, Физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия *НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия ×Department of Physics, Lancaster University, Lancaster, LA1 4YB, United Kingdom °Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, 119991 Москва, Россия
Abstract
В работе экспериментально исследованы резонансные свойства наномеханических резонаторов на основе закрепленных с двух концов кремниевых нанопроводов, изготовленных из кремния на изоляторе и покрытых тонкой пленкой алюминия. С помощью магнитодвижущего метода определены резонансные частоты основной моды при температуре 20 мК для нанопроводов различных размеров. Измеренные значения резонансных частот согласуются с оценкам, сделанными на основе теории Эйлера-Бернулли. Измеренная внутренняя добротность резонатора длиной 5 мкм, 3.62•104, превосходит значения добротности аналогичных резонаторов, исследованных при более высоких температурах. Представленные структуры могут быть использованы в качестве датчиков массы с чувствительностью  .
|