Физико-химические механизмы наноструктурирования стекла фемтосекундными лазерными импульсами с использованием селективного травления
А. М. Шахов, А. А. Астафьев, В. А. Надточенко
Институт химической физики им. Н. Н. Семенова РАН, 119991 Москва, Россия
Abstract
Представлено исследование процессов при наноструктурировании стекла под
действием одиночных жестко сфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов с
использованием селективного химического травления в растворе щелочи.
Продемонстрировано создание структур с шириной до 50 нм, выявлена зависимость
морфологии и размеров получаемых структур от параметров лазерного излучения и
времени травления. Измерения флуоресценции стекла при варьировании поляризации и
энергии лазерного импульса в широких пределах позволили обнаружить характер
процессов нелинейного поглощения в образце. Полученные данные проливают свет на
физико-химические процессы в стекле, приводящие к селективному химическому
травлению, и демонстрируют преимущества данного метода над методом простой
лазерной обработки стекла для создания сложных структур с субдифракционным
разрешением.