|
VOLUME 109 (2019) | ISSUE 6 |
PAGE 381
|
Влияние сильнонапряженных вставок GaAs и InAs в буферном слое InAlAs на структурные и оптические свойства метаморфных квантово-размерных гетероструктур InAs(Sb)/InGaAs/InAlAs/GaAs
В. А. Соловьев+, М. Ю. Чернов+, О. С. Комков+*, Д. Д. Фирсов*, А. А. Ситникова+, С. В. Иванов+
+Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, 194021 С.-Петербург, Россия *Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", 197376 С.-Петербург, Россия
Abstract
Методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках GaAs (001) выращены метаморфные
квантово-размерные гетероструктуры InAs(Sb)/InGaAs/InAlAs с тонкими (1-5 нм)
сильнонапряженными вставками GaAs и InAs в градиентном метаморфном буферном слое
InxAl1-xAs. Показано, что использование вставки GaAs толщиной 5 нм
в области метаморфного буферного слоя при
приводит к почти двукратному возрастанию интенсивности фотолюминесценции при 300 К
мкм) из квантовой ямы InAs/InGaAs, содержащей монослойную вставку InSb. Это
объясняется увеличением энергии локализации дырок в InSb, измеренной методом
фотомодуляционной инфракрасной фурье-спектроскопии отражения, за счет возросших упругих
напряжений в
квантовой яме вследствие пониженной плотности прорастающих дислокаций в этой структуре,
обусловленной
введением дополнительной обратной ступени в метаморфном буферном слое, функции которой выполняет 5 нм слой GaAs.
Введение 5 нм слоя InAs в метаморфный буферный слой нарушает его функции как дислокационного фильтра, приводя к
большей плотности дислокаций в области квантовой ямы и падению на порядок величины
интенсивности люминесценции.
|
|