Экспериментальное и теоретическое исследование слоистых ферромагнитных структур методом спектральной in situ магнитоэллипсометрии
О. А. Максимова+*, С. А. Лященко+, М. А. Высотин+*, И. А. Тарасов+, И. А. Яковлев+, Д. В. Шевцов+, А. С. Федоров+*, С. Н. Варнаков+, С. Г. Овчинников+*
+Институт физики им. Л. В. Киренскоrо Сибирского отделения РАН - обособленное подразделение
Федерального исследовательского центра "Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН",
660036 Красноярск, Россия
*Сибирский федеральный университет, 660041 Красноярск, Россия
Abstract
Данная статья посвящена развитию методики обработки данных
спектральной in situ
магнитоэллипсометрии для анализа ферромагнитных планарных наноструктур. В рамках
нового
подхода к интерпретации модулированных магнитным полем спектральных
эллипсометрических
измерений, проводимых с использованием магнитооптического эффекта Керра в
экваториальной
конфигурации, апробируется многослойная модель, содержащая ферромагнитный слой с
двумя
пограничными интерфейсами, неферромагнитный буферный слой и неферромагнитную
подложку. В частности, исследуется влияние толщины ферромагнитного слоя на
результаты
магнитоэллипсометрических измерений. Для измерений были выбраны
поликристаллические
пленки Fe различной толщины на неферромагнитной поверхности SiO2/Si(100). В
результате
обработки данных спектральных магнитоэллипсометрических измерений определены
комплексные диагональные и недиагональные компоненты тензора диэлектрической
проницаемости в спектральном диапазоне 1.38-3.45 эВ. Приведено сопоставление
полученных результатов с литературными данными других авторов и расчетом тензора
диэлектрической проницаемости Fe в рамках теории функционала плотности.