Home
| VOLUME 110 (2019) | ISSUE 11 | PAGE 759 |
|---|
|
Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния
С. И. Кудряшов+*, П. А. Данилов+*, А. П. Порфирьев×°, А. А. Руденко+, Н. Н. Мельник+, А. А. Кучмижак*, О. Б. Витрик*, А. А. Ионин+
+Физический институт им. П. Н. Лебедева, 119991 Москва, Россия *Дальневосточный федеральный университет, 690041 Владивосток, Россия ×Институт систем обработки изображений РАН - филиал Федерального научно-исследовательского центра "Кристаллография и фотоника" РАН, 443001 Самара, Россия °Самарский национальный исследовательский университет им. академика С. П. Королёва, 443086 Самара, Россия, ∇Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, 690041 Владивосток, Россия
Abstract
Экспериментально исследовано формирование микромасштабных гексагональных массивов нано-отверстий (метаповерхностей) в пленке гидрогенизированного аморфного кремния толщиной 50 нм путем трехлучевой интерференции фемтосекундных лазерных импульсов видимого диапазона (длина волны - 515 нм) в зависимости от экспозиции пленки. Характеризация массивов методами сканирующей электронной и оптической микроскопии, а также микроспектроскопии оптического пропускания и отражения показывает постепенное испарительное формирование в кремниевой пленке нано-отверстий и метаповерхности в целом по мере роста числа лазерных импульсов при их фиксированной энергии, с одновременным ростом объемного содержания кристаллической фазы согласно данным микроспектроскопии комбинационного рассеяния света. |