Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
   Volumes 113-120
   Volumes 93-112
      Volume 112
      Volume 111
      Volume 110
      Volume 109
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 110 (2019) | ISSUE 11 | PAGE 759
Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния
Abstract
Экспериментально исследовано формирование микромасштабных гексагональных массивов нано-отверстий (метаповерхностей) в пленке гидрогенизированного аморфного кремния толщиной 50 нм путем трехлучевой интерференции фемтосекундных лазерных импульсов видимого диапазона (длина волны - 515 нм) в зависимости от экспозиции пленки. Характеризация массивов методами сканирующей электронной и оптической микроскопии, а также микроспектроскопии оптического пропускания и отражения показывает постепенное испарительное формирование в кремниевой пленке нано-отверстий и метаповерхности в целом по мере роста числа лазерных импульсов при их фиксированной энергии, с одновременным ростом объемного содержания кристаллической фазы согласно данным микроспектроскопии комбинационного рассеяния света.