Home
| VOLUME 112 (2020) | ISSUE 11 | PAGE 780 |
|---|
|
Исследование параметров лазерно-индуцированных ударных волн для задач лазерной ударной обработки кремния
Е. И. Мареев+*, Б. В. Румянцев+, Ф. В. Потемкин+
+Физический факультет и Международный учебно-научный лазерный центр МГУ им. М. В. Ломоносова, 119234 Москва, Россия *Институт фотонных технологий, Федеральный научно-исследовательский центр РАН, 119333 Троицк, Москва, Россия
Abstract
В представленной работе на основе техники время-разрешенной теневой фотографии были определены диапазоны энергий фемтосекундных лазерных импульсов и расстояний от точки фокусировки высокоинтенсивного (до 1013 Вт/см2) фемтосекундного лазерного излучения до образца, при которых возможно инициирование фазовых переходов в кремнии. Было обнаружено, что при острой фокусировке (NA = 0.5) фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона достигается давление в 15 ГПа, что в случае лазерной ударной обработки (ЛУО) кремния соответствует давлению  ГПа и
превышает пороговое значение, необходимое для инициирования семейства фазовых переходов
(11, 14, 33 ГПа). Давление на фронте ударной волны при ее распространении в среде быстро
(за 2.5 нс) уменьшается ниже этого порогового значения, что
значительно ограничивает возможные режимы работы в режиме ЛУО.
|