Прямое определение фазы амплитуды отражения с помощью стоячих рентгеновских волн
Вартаньянц И.А., Ковальчук М.В., Кон В.Т., Николаенко A.M., Харитонов И.Ю.
Экспериментально реализован метод прямого определения фазы амплитуды отражения с использованием стоячих рентгеновских волн. Метод основан на измерении рентгеновского отражения и фотоэлектронной эмиссии при больших отклонениях от угла Брэгга. Решение фазовой проблемы позволило однозначно определить структуру реальных приповерхностных слоев монокристаллов. Развитый подход иллюстрируется на примере кристалла кремния после ионной имплантации.