Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел
Л. А. Федюхин+, А. В. Горчаков*, Н. Г. Коробейщиков*, И. В. Николаев*
+Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия
*Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Предложен метод измерения и алгоритм расчета показателя преломления оптических материалов, основанный на
модели трехслойной структуры. Проведена экспериментальная апробация метода с использованием оптических мер.
Численно показана единственность восстановления показателей преломления подложки,
приповерхностного слоя, а также толщины слоя по измерению коэффициента отражения зондирующего излучения
в области угла Брюстера и угла нормального падения. Впервые измерены показатель преломления приповерхностного слоя
с абсолютной погрешностью измерения
и толщина приповерхностного слоя с доверительной погрешностью
нм.