Многофононная ионизация глубоких центров в аморфном нитриде бора
Ю. Н. Новиков+, В. А. Гриценко+*
+Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова, 630090 Новосибирск, Россия
*Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия
Abstract
В широком диапазоне электрических полей и температур экспериментально
рассмотрен перенос заряда в аморфном нитриде бора (BN). Методом количественного
сопоставления эксперимента и расчета по транспорту заряда в BN анализируется
применимость двух моделей: эффекта Френкеля и многофононного механизма ионизации
ловушек. Установлено, что эффект Френкеля качественно описывает транспорт заряда в
BN. Однако, для такого описания необходимо использовать нефизично малую величину
частотного фактора 4.3•1011 с-1. Показано, что транспорт заряда в BN удовлетворительно
описывается теорией многофононной ионизации ловушек. Определены величины
термической (WT=1.0 эВ) и оптической (WOPT=2.0 эВ) энергии ловушки в BN.