Пьезоэлектрические свойства пористого кремния
В. А. Морозов+, А. Г. Зегря*, Г. Г. Зегря*, Г. Г. Савенков×
+Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 С.-Петербург, Россия
*Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, 194021 С.-Петербург, Россия
×Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет),
190013 С.-Петербург, Россия
Abstract
На основании теоретического анализа и прямых экспериментов с образцами на основе
пористого кремния n- и p-типа установлено, что пористый кремний, в связи с понижением
симметрии кристаллической решетки, становится пьезоэлектриком. Показано, что оба типа (n- и
p-) пористого кремния обладают пьезоэлектрическими свойствами; при этом пьезоэлектрические
свойства пористого кремния n-типа, в 2.5 слабее пьезоэлектрических свойств пористого кремния
p-типа, при одной и той же степени пористости. Это объясняется тем, что при одной и той же
степени пористости, поры в кремнии p-типа более широкие и ровные при удалении от
поверхности вглубь материала, а в пористом кремнии n-типа более узкие и извилистые.