Цилиндрические микрорезонаторы с квантовыми точками InAs/GaAs - моделирование и анализ оптических характеристик
М. А. Бобров+*, С. А. Блохин+, Н. А. Малеев+, А. Г. Кузьменков+, А. А. Блохин+, А. П. Васильев×, Ю. А. Гусева+, М. В. Рахлин+, А. И. Галимов+, Ю. М. Серов+, С. И. Трошков+, В. М. Устинов*, А. А. Торопов+
+Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, 194021 С-Петербург, Россия
*С.-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 С.-Петербург, Россия
×Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, 194021 С.-Петербург, Россия
Abstract
Представлены результаты исследований оптических характеристик структур
цилиндрических вертикальных микрорезонаторов с AlGaAs
распределенными брэгговскими отражателями и InAs/GaAs квантовыми точками,
предназначенных для изготовления источников одиночных фотонов.
Методом конечных разностей во временной области выполнено численное
моделирование эффектов влияния на величину фактора Парселла и
эффективности вывода излучения таких параметров, как наклон боковых стенок,
частичное окисление AlGaAs слоев и отклонение расположения квантовых точек от
центральной оси микрорезонатора, а также определены допустимые диапазоны
реализации этих параметров, для цилиндрических вертикальных микрорезонаторов
спектрального диапазона 920 нм.
Сравнение результатов расчетов, выполненных с использованием уточненных
значений показателей преломления используемых материалов при криогенных
температурах, и измеренных характеристик изготовленных микрорезонаторных
структур подтвердило адекватность используемых моделей.