Влияние кристаллизации на 3D структуру пор в сегнетоэлектрических пленках PZT
А. В. Атанова+, Д. Н. Хмеленин+, О. М. Жигалина+*
+Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова
Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, 119333 Москва, Россия
*Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия
Abstract
Впервые методом ФИП-РЭМ нанотомографии визуализирована структура пористых пленок титаната-цирконата свинца,
полученного методом химического осаждения из растворов с добавлением порогена Brij76.
Приведены методики определения связности пор и их распределения. Показано, что пленки обладают высокосвязной системой
пор с их закономерным распределением в подслоях, сформированной в процессе многослойного нанесения и последующей кристаллизации.