Рост силицена методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках CaF2/Si(111), модифицированных электронным облучением1)
А. Ф. Зиновьева+* 2), В. А. Зиновьев+, А. В. Кацюба+, В. А. Володин+*, В. И. Муратов*, А. В. Двуреченский+*
+Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия
*Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Впервые экспериментально продемонстрирована возможность
получения силицена на модифицированных электронным облучением
подложках CaF2/Si(111). Показано, что формирующиеся под
электронным пучком участки планарной поверхности CaSi2 с
гексагональной упаковкой могут быть использованы как естественная
основа для последующего роста силицена. На таких поверхностях
проведено осаждение кремния и методами атомно-силовой микроскопии и
спектроскопии комбинационного рассеяния света получено подтверждение
формирования островков силицена.