Экспериментальная демонстрация микрообработки поверхности полистирола с использованием фотонного крючка
О. В. Минин+, И. В. Минин+*
+Национальный исследовательский Томский политехнический университет, 634050 Томск, Россия
*Филиала Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН "Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники", 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
При лазерной микроперфорации диэлектрических материалов получение кратеров,
которые имеют изменяющиеся в продольном и поперечном направлениях характеристики,
наталкивается на существенные проблемы. В этой работе мы предлагаем метод
микроструктурирования полимерных материалов на примере полистирола на основе
лазерных фотонных крючков с использованием маломощного и недорогого лазера
непрерывного действия. Для формирования фотонного крючка было использовано
оптическое волокно с коническим окончанием с нарушенной симметрией. Результаты
экспериментов демонстрируют возможность получения криволинейных микрократеров,
форма которых в полимерной подложке зависит от мощности лазерного излучения.