Локальная диагностика спиновых дефектов в облученных SiC-диодах Шоттки
К. В. Лихачев+, А. М. Скоморохов+, М. В. Учаев+, Ю. А. Успенская+, В. В. Козловский*, М. Е. Левинштейн+, И. А. Елисеев+, А. Н. Смирнов+, Д. Д. Крамущенко+, Р. А. Бабунц+, П. Г. Баранов+
+Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, 194021 С.-Петербург, Россия
*Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 С.-Петербург, Россия
Abstract
Впервые зарегистрированы спектры антипересечения спиновых подуровней и
идентифицированы центры окраски со спином S = 3/2 в коммерчески доступных диодах
Шоттки на основе 4H-SiC, подвергнутых облучению электронами с энергией 0.9 МэВ или
протонами с энергией 15 МэВ. Показано влияние дозы облучения на процесс
дефектообразования. Продемонстрировано, что повышение температуры, при которой
проводилось облучение протонами, играет роль краткосрочного отжига, приводящего к
уменьшению концентрации точечных дефектов.