Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
   Volumes 93-112
   Volumes 113-121
      Volume 121
      Volume 120
      Volume 119
      Volume 118
      Volume 117
      Volume 116
      Volume 115
      Volume 114
      Volume 113
Search
VOLUME 120 (2024) | ISSUE 12 | PAGE 924
Спектральные свойства трехмерных волноводных структур, изготовленных методом двухфотонной лазерной литографии
DOI: 10.31857/S0370274X24120157
Abstract
Развитие метода двухфотонной лазерной литографии для создания оптических элементов с характерными размерами в единицы микрометров является актуальной задачей. В данной работе представлены результаты изготовления методом двухфотонной лазерной литографии из гибридного фоторезиста OrmoComp оптических волноводов микронного диаметра, оптически не связанных с подложкой и совмещенных с системой ввода-вывода оптического излучения, основу которых составляют призменные адаптеры полного внутреннего отражения. Рассчитаны и измерены спектры пропускания всей структуры (адаптер входной-волновод-адаптер выходной) и показано, что коэффициент пропускания в маломодовом режиме составляет 20-40 спектральном диапазоне 700-1650 нм. Согласно расчетам, основной механизм потерь в такой структуре определяется сильным рассеянием в зоне перехода конусной части адаптера в волновод из-за сложной структуры оптического поля, нарушением режима полного внутреннего отражения на призмах из-за высокой угловой апертуры фокусируемого пучка излучения. Показана необходимость учета эффекта Гуса-Хенкен при проектировании элементов сопряжения.