Цилиндрические микрорезонаторы из кремния и нитрида кремния, изготовленные из оптических волокон методом магнетронного напыления
Н. А. Макарова+, В. С. Терентьев*, И. Д. Ватник+*
+Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
*Институт автоматики и электрометрии, 630090 Новосибирск, Россия
Abstract
Цилиндрический микрорезонатор на основе стандартных кварцевых
оптических волокон является перспективной простой платформой для создания
нелинейных устройств, но требует высокой мощности накачки для наблюдения
нелинейных эффектов. В работе рассматривается возможность магнетронного
напыления тонких пленок с более высоким нелинейным показателем
преломления из слоев кремния и нитрида кремния, обладающих большим
нелинейным показателем преломления. Показано, что добротность в процессе
напыления падает до величин 105 для пленок кремния и 106 для пленок
нитрида кремния.