Динамика индуцированного адсорбцией перехода огрубления как фазового перехода в вакансионной подсистеме
Борман В.Д., Тапинская О.В., Тронин В.Н., Троян В.И.
Рассмотрена динамика фазового перехода первого рода в вакансионной подсистеме в приповерхностном слое кремния, который приводит к переходу огрубления его поверхности. Предложено два возможных механизма возникновения пересыщения в вакансионной подсистеме. Найдена фазовая диаграмма перехода и вероятность распределения шероховатостей по высоте и волновому вектору. Предсказаны условия возникновения квазипериодических структур на поверхности и стохастических шероховатостей.