ПО ИТОГАМ ПРОЕКТОВ РОССИЙСКОГО ФОНДА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ Проекты РФФИ # 93-02-2070, # 96-02-16243, # 99-02-16078 и # 02-02-16272
Примесные пары и релаксация возбуждения в легированном кремнии
Я. Е. Покровский, Н. А. Хвальковский
Институт радиотехники и электроники РАН, 125009, Москва, Россия
PACS: 71.55.Cn, 72.40.+w
Abstract
В кремнии, легированном В, Al, Ga, In, P, As, Sb в концентрациях
1016 -1018 см-3 при 4.2 и 10.5 K, исследована кинетика
фотопроводимости в 8-миллиметровом микроволновом электрическом поле при
примесном импульсном возбуждении. Установлено, что инфракрасное поглощение
парами примесей и медленная компонента релаксации фотоответа возникают при
близких концентрациях примесей. Показано, что эта компонента обусловлена
возрастанием поляризационной прыжковой проводимости при оптической
перезарядке примесных состояний - изолированных примесей, примесных пар и
диполей (пар ионов основной и компенсирующей примесей). Проанализированы
процессы прыжкового переноса заряда ионов в процессе релаксации. Показано,
что основной вклад в поляризационную фотопроводимость при относительно
небольших концентрациях дают прыжковые переходы в примесных парах, а при
возрастании концентраций - прыжки с участием изолированных ионов.