Фазовая и морфологическая неоднородности конденсатов системы Ti-C, полученных на границе раздела плазма-титановая подложка
В. И. Перекрестов, Ю. А. Косминская1)
Сумский государственный университет 40007 Сумы, Украина
PACS: 68.55.-а, 81.15.Ef
Abstract
Методами растровой электронной микроскопии с использованием
энергодисперсного анализа изучен механизм структурообразования и локальный
химический состав конденсатов системы Ti-C, образованных на границе раздела
углеродно-аргонно-титановая плазма-титановая подложка при условии убывания со
временем титановой составляющей плазмы. Установлен пространственно
распределенный рост различных структурных модификаций углерода, обусловленный
перераспределением массопереноса вблизи подложки, а также селективной
конденсацией только тех адатомов, которые в период термической аккомодации
создали с ростовой поверхностью достаточно устойчивые химические связи.